
手のひらサイズの極低温冷却器の開発
半導体の検査装置や真空装置、赤外線センサーの中には、−100℃を下回る温度まで冷やさなければ性能を出せない部品があります。いまは液体窒素を補給し続けるか、大きな冷凍設備を置くしかなく、手間とコストが現場の負担になっています。私たちは、電源につなぐだけでこの温度帯をつくる、手のひらサイズの冷却器(スターリング方式)を開発しています。新潟・燕三条の精密加工と大学との共同研究で、長く止まらずに動き続ける国産の冷却器を目指します。
極低温冷却器(スターリング方式)の研究開発
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